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金融界2024年12月21日音信,国度学问产权局信息清爽,芯联能源科技(绍兴)有限公司苦求一项名为“沟槽型场效应晶体管”的专利,公开号 CN 119153529 A,苦求日历为2024年10月。 专利摘抄清爽,本发明提供了一种沟槽型场效应晶体管,包括:基底,所述基底具有沿第一观点法度隔断排布的多个栅极沟槽,各所述栅极沟槽沿第二观点蔓延修复,所述第二观点正交于所述第一观点;栅极结构,各所述栅极沟槽均通过一所述栅极结构填充;多个第一电场屏蔽结构,多个所述第一电场屏蔽结构沿所述第二观点法度排布,各所
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金融界2024年12月21日音信,国度学问产权局信息清爽,芯联能源科技(绍兴)有限公司苦求一项名为“沟槽型场效应晶体管”的专利,公开号 CN 119153529 A,苦求日历为2024年10月。
专利摘抄清爽,本发明提供了一种沟槽型场效应晶体管,包括:基底,所述基底具有沿第一观点法度隔断排布的多个栅极沟槽,各所述栅极沟槽沿第二观点蔓延修复,所述第二观点正交于所述第一观点;栅极结构,各所述栅极沟槽均通过一所述栅极结构填充;多个第一电场屏蔽结构,多个所述第一电场屏蔽结构沿所述第二观点法度排布,各所述第一电场屏蔽结构与各所述栅极沟槽的至少底壁具有叠加区域,第一电场屏蔽结构在围聚栅极沟槽的位置收窄不错彰着裁减导通电阻,终了导通电阻和栅氧层底部电场屏蔽更好的折衷。
本文源自:金融界
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